11月11日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）涨8.38%，报1.280元，成交额3.82亿元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，中微公司截止午盘涨14.45%，北方华创涨8.05%，沪硅产业涨7.88%，华海清科涨7.14%，拓荆科技涨13.25%，南大光电涨5.19%，雅克科技涨7.92%，长川科技涨8.64%，芯源微涨15.78%，立昂微涨4.79%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为17.39%，近一个月回报为7.02%。
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