11月13日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）收盘涨0.07%，成交额3071.48万元。
半导体设备ETF基金（159327）成立于2024年7月24日，基金全称为万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为万家中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。
规模方面，截止11月12日，半导体设备ETF基金（159327）最新份额为9652.47万份，最新规模为1.41亿元。
流动性方面，截止11月13日，半导体设备ETF基金（159327）近20个交易日累计成交金额4.31亿元，日均成交金额2153.40万元。
半导体设备ETF基金（159327）现任基金经理为贺方舟。贺方舟自2024年7月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益46.38%。
最新定期报告显示，半导体设备ETF基金（159327）重仓股包括中微公司、北方华创、沪硅产业、华海清科、拓荆科技、南大光电、雅克科技、长川科技、芯源微、立昂微，持仓占比如下。
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688012 | 中微公司 | 15.02% | 11.75万 | 1927.00万 |
| 002371 | 北方华创 | 14.41% | 5.05万 | 1848.20万 |
| 688126 | 沪硅产业 | 6.74% | 45.55万 | 864.54万 |
| 688120 | 华海清科 | 4.73% | 3.75万 | 607.24万 |
| 688072 | 拓荆科技 | 4.51% | 4.02万 | 578.88万 |
| 300346 | 南大光电 | 4.15% | 15.06万 | 532.54万 |
| 002409 | 雅克科技 | 3.76% | 7.86万 | 482.45万 |
| 300604 | 长川科技 | 3.08% | 10.41万 | 394.64万 |
| 688037 | 芯源微 | 2.86% | 4.42万 | 366.32万 |
| 605358 | 立昂微 | 2.82% | 14.98万 | 362.37万 |
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