10月16日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）跌1.14%，报0.950元，成交额5212.77万元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘跌3.39%，中微公司跌2.16%，沪硅产业跌3.42%，华海清科涨0.69%，雅克科技跌0.37%，拓荆科技跌1.78%，南大光电涨3.65%，立昂微跌0.50%，鼎龙股份涨0.81%，TCL科技跌1.20%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为-4.23%，近一个月回报为32.28%。
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