7月5日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）收盘跌0.63%，成交额5624.73万元。
半导体设备ETF（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。
规模方面，截止7月4日，半导体设备ETF（159516）最新份额为9.60亿份，最新规模为7.59亿元。回顾2023年12月29日，半导体设备ETF（159516）份额为9.57亿份，规模为8.69亿元。即该基金今年以来份额增加0.31%，规模减少12.66%。
流动性方面，截止7月5日，半导体设备ETF（159516）近20个交易日累计成交金额15.50亿元，日均成交金额7751.78万元。
半导体设备ETF（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益-20.94%。
最新定期报告显示，半导体设备ETF（159516）重仓股包括北方华创、中微公司、沪硅产业、拓荆科技、TCL科技、华海清科、雅克科技、石英股份、长川科技、南大光电，持仓占比如下。
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 002371 | 北方华创 | 17.77% | 41.28万 | 1.26亿 |
| 688012 | 中微公司 | 14.20% | 67.53万 | 1.01亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 4.79% | 256.79万 | 3399.90万 |
| 688072 | 拓荆科技 | 3.87% | 14.59万 | 2750.23万 |
| 000100 | TCL科技 | 3.78% | 574.72万 | 2683.95万 |
| 688120 | 华海清科 | 3.64% | 14.87万 | 2586.88万 |
| 002409 | 雅克科技 | 3.50% | 44.47万 | 2482.32万 |
| 603688 | 石英股份 | 3.50% | 27.53万 | 2486.65万 |
| 300604 | 长川科技 | 3.22% | 67.95万 | 2283.22万 |
| 300346 | 南大光电 | 3.04% | 84.66万 | 2156.17万 |
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